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SJ/T 11865-2022 功率器件用Φ 150 mm n型碳化硅衬底

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秀才

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发表于 2023-10-18 11:47:16 | 显示全部楼层 |阅读模式
本文件规定了功率器件用Φ150mm n 型碳化硅(SiC)衬底的术语、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。适用于经抛光后制备的Φ150mm n 型 SiC 衬底,晶型为 4H。
标准编号:SJ/T 11865-2022
标准名称:功率器件用Φ 150 mm n型碳化硅衬底
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
发布日期:2022-09-30
实施日期:2023-01-01
标准状态:现行
文件格式:PDF
文件页数:13页
文件大小:4.43MB

标准全文下载:
SJT 11865-2022.pdf (4.43 MB)

文档首页截图如下:
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